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ロボットハンドでのウェーハ着座確認
課 題
ウェーハを安定して搬送するため、ロボットハンド上に正しく着座していることを確認する必要があります。
ご提案
厚さ1.5 mmの超薄型限定反射型ファイバセンサでウェーハ端部を直接検出。限られたハンドスペースにも組み込め、ウェーハの着座状態を安定して確認できます。
関連製品
- FD-L13H1 〉
ウェーハのアライメント
課 題
ウェーハを正しい向き・位置にそろえるため、高速かつ高精度なアライメントが求められます。
ご提案
帯状に測定できる透過型デジタル変位センサ HG-Tで、ノッチ・オリフラや中心位置を検出。ウェーハのアライメントや偏心量の測定に対応します。
関連製品
ウェーハの除電と帯電量の見える化
課 題
ウェーハの帯電は異物付着や静電破壊の原因となるため、確実な除電と帯電状態の管理が求められます。
ご提案
イオナイザでウェーハを除電し、表面電位センサで帯電量を常時モニタリング。除電効果を見える化し、安定した静電気対策を実現します。
関連製品
- ER-X Series 〉
- ER-F Series 〉
- EF-S1 〉
ビュウポート越しのウェーハ検出
課 題
真空チャンバはスペースが限られるため、
チャンバの外からウェーハの状態を確認したい。
ご提案
指向性の高いレーザセンサを使えば、チャンバ外からビュウポート越しに安定したウェーハ検出をおこなえます。
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真空工程内でのファイバアプリケーション
課 題
真空ファイバは取り付け部品が多く、手袋を着用した状態では取り付け作業に手間がかかります。
ご提案
ワンタッチ取り付け方式の真空フランジと耐真空ファイバなら、手袋を着用した状態でも簡単に取り付けでき、施工工数の削減に貢献します。
関連製品
真空ロボットハンドでのウェーハ着座
課 題
真空工程内でウェーハの着座を検出したいものの、一般的なファイバセンサでは真空環境に対応できません。
ご提案
耐真空ファイバなら、真空環境に加え300℃の高温環境にも対応。真空工程内でのウェーハ着座検出など、さまざまなアプリケーションに使用できます。
関連製品
- 耐真空ファイバ 〉
ウェーハセンタリング（ビュウポート越し）
課 題
高い加工精度と安定した搬送を実現するため、ウェーハの位置を正確にセンタリングする必要があります。
ご提案
透過型ファイバセンサ FT-KV40H1なら、ビューポート越しにウェーハ位置を検出。周囲温度105℃まで対応し、開口角2°の狭視界により周囲の影響を抑えた安定検出が可能です。
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冷却水の漏液検出
課 題
従来の1出力タイプでは、わずかな初期漏液でも装置が停止し、チョコ停につながることがあります。設備の稼働率を維持しながら、異常漏液を検知する必要があります。
ご提案
SQ4なら、初期漏液（警報）と異常漏液（緊急停止）を2段階で検知。生産性と安全性の両立に加え、センサの設置忘れや取り付け不備などの異常も検知できます。
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