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ウェーハマッピング
課 題
ウェーハを正確に取り出すため、カセット内のウェーハの有無やクロス、重なりを安定して検出する必要があります。
ご提案
ファイバセンサで薄いウェーハも安定して検出し、カセット内のウェーハをマッピング。サイドビュータイプなら、限られたスペースにも設置できます。
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ウェーハマッピング（耐熱環境）
課 題
拡散炉の高温プロセス付近では周囲温度が高くなるため、センサにも高い耐熱性が求められます。
ご提案
先端部3.8 mmのサイズながら、200℃までの耐熱性を実現。 高温環境下でのウェーハ検出に対応します。
関連製品
高温環境でのドグ検知（耐熱環境）
課 題
ボート付近の高温環境では、一般的なコの字型光電センサでは使用温度範囲を超えるため、耐熱性の高いセンサが必要です。
ご提案
ファイバタイプのコの字型センサヘッドにより、高温環境でのドグ検知に対応。ヘッド部に電気部品を内蔵しないため、ノイズ環境にも適しています。通常環境にはPM-25／65／45シリーズをラインアップしています。
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ウェーハ飛出し検知
課 題
ウェーハは非常に薄く破損しやすいため、飛び出しを検知し、正しい位置に収納されていることを確認する必要があります。
ご提案
EX-13SEBでウェーハの飛び出しを検知。ウェーハの破損や搬送トラブルの防止に貢献します。
関連製品
- EX-13SEB 〉
FOUP投入口の安全対策
課 題
作業者が介在する搬入工程では、安全対策が必要です。一方、セーフティライトカーテンの安全距離を確保することで、装置が大型化する場合があります。
ご提案
SF4CシリーズのFingerタイプなら安全距離を短縮可能。さらに厚さ13 mmの薄型ボディにより、装置の小型化やフットプリント削減に貢献します。
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ドレンパン漏液検出
課 題
従来の1出力タイプでは、わずかな初期漏液でも装置が停止し、チョコ停につながることがあります。設備の稼働率を維持しながら、異常漏液を検知する必要があります。
ご提案
SQ4なら、初期漏液（警報）と異常漏液（緊急停止）を2段階で検知。生産性と安全性の両立に加え、センサの設置忘れや取り付け不備などの異常も検知できます。
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