ウェーハマッピング

課　題

ウェーハを正確に取り出すため、カセット内のウェーハの有無やクロス、重なりを安定して検出する必要があります。

ご提案

ファイバセンサで薄いウェーハも安定して検出し、カセット内のウェーハをマッピング。サイドビュータイプなら、限られたスペースにも設置できます。

関連製品

• FT-KV40 〉
• FX-250 〉

PLPのマッピング

課　題

PLPはウェーハと異なり透過型での検出が難しいため、反射型センサによるマッピングが必要です。

ご提案

豊富な反射型センサのラインアップから、検出精度や応答速度など、お客様の条件に合わせた最適なセンシングをご提案します。

関連製品

• HL-G2 〉
• LS-500 〉
  

ウェーハの飛び出し検知

課　題

ウェーハは非常に薄く破損しやすいため、FOUPからの飛び出しを検知し、正しい位置に収納されていることを確認する必要があります。

ご提案

EX-13SEBでFOUPからのウェーハの飛び出しを検知。ウェーハの破損や搬送トラブルの防止に貢献します。

関連製品

• EX-13SEB 〉
  
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ウェーハアライメント

課　題

ウェーハを正しい向き・位置にそろえるため、高速かつ高精度なアライメントが求められます。

ご提案

帯状に測定できる透過型デジタル変位センサ HG-Tで、ノッチ・オリフラや中心位置を検出。ウェーハのアライメントや偏心量の測定に対応します。

関連製品

• HG-T Series 〉
  
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ロボットハンドでのウェーハ着座確認

課　題

ウェーハを安定して搬送するため、ロボットハンド上に正しく着座していることを確認する必要があります。

ご提案

厚さ1.5 mmの超薄型限定反射型ファイバセンサでウェーハ端部を直接検出。限られたハンドスペースにも組み込め、ウェーハの着座状態を安定して確認できます。

関連製品

• FD-L13H1 〉
  
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作業者とOHTの衝突防止用
セーフティライトカーテン

課　題

OHTからロードポートへのFOUP移載時に、作業者との接触を防止する必要があります。

ご提案

厚さ13 mmの薄型セーフティライトカーテン SF4Cなら、広い開口部を確保可能。光軸ピッチ10 mmのFingerタイプなら安全距離を短縮でき、装置の小型化やフットプリント削減に貢献します。

関連製品

• SF4C Series 〉
• SF4D Series 〉